DC 電源システム
Photo of MDX Series 500 W DC power system
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MDXシリーズ(500 W)

真空環境での厳しい連続使用条件にも耐えるように設計されたMDX 500は、マグネトロンスパッタリング作業環境で異なる種類のアークをマルチレベルで抑制、消去します。基本的なマグネトロンスパッタリング、高周波バイアスを用いたDCスパッタリング、ならびにDCバイアスを用いた高周波スパッタリングで業界随一の性能を発揮します。小型設計のため、実験室用システムや小規模な生産環境に最適です。

利点 特長
  • 過負荷保護機能内蔵
  • 信頼性とサービス容易性
  • 高速応答時間
  • 各種適合認証済み
  • アークをマルチレベルで抑制、消去
  • ユーザーI/O インターフェース
  • 電力、電流、電圧制御対応


MDX Series 500 W Magnetron Drive brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advances in Arc-Handling in Reactive and Other Difficult Processes (2001) white paper
How Advanced Energy's MDX Products Manage Arcs (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
Single-Magnetron Approach Reactive Sputtering of Dielectrics, September 2000 magazine reprint
AE Global Services brochure


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