DC 電源システム
MDXシリーズ(1 kWおよび1.5 kW)の写真
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MDXシリーズ(1 kWおよび1.5 kW)

利点 特長
  • 厳しい規格に対応
  • 歩留まりの向上
  • ターゲットバーンイン時間の短縮
  • 高い信頼性
  • メンテナンスや交換が簡単
  • 低い蓄積出力エネルギー
  • リップルが小さい
  • アーク抑制時間が調整可能
  • 高効率
  • 小型設計
  • 電圧・電流・パワーレギュレーションモード
  • フロントパネル・アナログインタフェースコントロール
  • 保護機能一式を搭載


MDX 1 kW and 1.5 kW Magnetron Drives brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advances in Arc-Handling in Reactive and Other Difficult Processes (2001) white paper
How Advanced Energy's MDX Products Manage Arcs (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Pulsed-DC Reactive Sputtering of Dielectrics: Pulsing Parameter Effects, April 2000 magazine reprint
Reactive Sputtering Using a Dual-Anode Magnetron System, April 2001 magazine reprint
Biased Dual Magnetron Sputter Deposition of Alumina, April 2002 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
Single-Magnetron Approach Reactive Sputtering of Dielectrics, September 2000 magazine reprint
AE Global Services brochure


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